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横向电压型压力传感器灵敏度的几何效应

鲍敏杭 齐薇佳 王言

半导体学报Issue(4)：345,1.
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半导体学报Issue(4)：345,1.

横向电压型压力传感器灵敏度的几何效应

鲍敏杭 1齐薇佳 1王言1

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鲍敏杭,齐薇佳,王言..横向电压型压力传感器灵敏度的几何效应[J].半导体学报,1987,(4):345,1.

半导体学报

1674-4926

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