量子电子学报2008，Vol.25Issue(3)：346-350,5.
不同N2气流量比反应溅射TiN薄膜的表面形貌分形特征
Fractal surface of TiN thin films sputtered at different N2 flow ratios
雒向东1
作者信息
- 1. 兰州城市学院培黎工程技术学院,甘肃兰州,730070
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摘要
关键词
材料/表面形貌/分形理论/薄膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
雒向东..不同N2气流量比反应溅射TiN薄膜的表面形貌分形特征[J].量子电子学报,2008,25(3):346-350,5.
