MEMS器件的腐蚀与释放

欧毅石莎莉李超波焦斌斌陈大鹏

半导体学报2006，Vol.27Issue(z1)：347-350,4.

Wet Etching and Releasing of MEMS

欧毅 ¹石莎莉 ¹李超波 ¹焦斌斌 ¹陈大鹏¹

作者信息

MEMS/牺牲层/腐蚀/释放/隔离槽

数理科学

欧毅,石莎莉,李超波,焦斌斌,陈大鹏..MEMS器件的腐蚀与释放[J].半导体学报,2006,27(z1):347-350,4.

国家自然科学基金(批准号:60576053)和国家高技术研究发展计划(批准号:2005AA404210)资助项目（批准号:60576053）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1674-4926

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