物理学报2007，Vol.56Issue(6)：3515-3520,6.
磁控溅射制备ZnO薄膜及其声表面波特性
Surface acoustic wave properties of ZnO films grown by magnetron sputtering
杨光 1Santos Paulo V.2
作者信息
- 1. 华中科技大学武汉光电国家实验室激光科学与技术研究部,武汉,430074
- 2. 华中科技大学光电子科学与工程学院,武汉,430074
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摘要
关键词
ZnO薄膜/X射线衍射/声表面波分类
数理科学引用本文复制引用
杨光,Santos Paulo V...磁控溅射制备ZnO薄膜及其声表面波特性[J].物理学报,2007,56(6):3515-3520,6.
