| 注册
首页|期刊导航|液晶与显示|沉积气压对氮化硼薄膜场发射特性的影响

沉积气压对氮化硼薄膜场发射特性的影响

李卫青

液晶与显示2008,Vol.23Issue(3):352-356,5.
液晶与显示2008,Vol.23Issue(3):352-356,5.

沉积气压对氮化硼薄膜场发射特性的影响

Influence of Deposition Pressure on Field Emission Characteristics of Boron Nitride Films

李卫青1

作者信息

  • 1. 天津大学,理学院,现代材料物理研究所,天津市低维功能材料物理与制备技术重点实验室,天津,300072
  • 折叠

摘要

关键词

射频等离子体/氮化硼薄膜/场发射特性/阈值电场

分类

数理科学

引用本文复制引用

李卫青..沉积气压对氮化硼薄膜场发射特性的影响[J].液晶与显示,2008,23(3):352-356,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.10647140) (No.10647140)

天津大学青年基金资助项目(No.5110119) (No.5110119)

液晶与显示

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-2780

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文