人工晶体学报2004，Vol.33Issue(1)：35-39,5.
直流磁控溅射工艺对ZnO薄膜结构影响的研究
Influences of Technical Conditions on the Structure of ZnO Films Deposited by DC Magnetic Control Sputtering
摘要
关键词
ZnO薄膜/基片温度/c轴取向/退火/氩氧比/结晶质量分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吕文中,贾小龙,何笑明..直流磁控溅射工艺对ZnO薄膜结构影响的研究[J].人工晶体学报,2004,33(1):35-39,5.基金项目
湖北省杰出青年基金(2002AO002)资助项目 （2002AO002）
