人工晶体学报2009，Vol.38Issue(2)：354-357,4.
射频溅射功率对ZnO透明导电薄膜光电性能的影响
Effects of the Sputtering Power on the Photoelectric Properties of ZnO Transparent Conductive Oxide Thin Films
摘要
关键词
磁控溅射/ZnO薄膜/沉积速率/光电特性/HIT太阳电池分类
数理科学引用本文复制引用
陈肖静,王永谦,朱拓,李果华,张光春..射频溅射功率对ZnO透明导电薄膜光电性能的影响[J].人工晶体学报,2009,38(2):354-357,4.基金项目
江苏省高技术招标项目(BG2007002) （BG2007002）
江苏省六大人才高峰项目 （）
信息产业部电子发展基金项目 （）
