化工学报2008，Vol.59Issue(2)：354-358,5.
热集成的贵金属催化多孔硅微反应器元件的制备
Preparation of porous silicon microreactor components integrated with microheater and noble metal catalyst
摘要
关键词
单晶硅/多孔硅/化学镀/电镀/微反应器/微换热器/分散式生产分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
常彦龙,苏旭,马传利,王春明..热集成的贵金属催化多孔硅微反应器元件的制备[J].化工学报,2008,59(2):354-358,5.基金项目
教育部博士点基金项目(20030730014). （20030730014）
