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动力学研究AlN/α-Al2O3(0001)薄膜生长初期的吸附与扩散

杨春 冯玉芳 余毅

物理学报2009，Vol.58Issue(5)：3553-3559,7.
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物理学报2009，Vol.58Issue(5)：3553-3559,7.

动力学研究AlN/α-Al2O3(0001)薄膜生长初期的吸附与扩散

Dynamics study of the adsorption and diffusion in early growth stage of AlN/α-Al2O3(0001) films

杨春 1冯玉芳 2余毅1

作者信息

  • 1. 可视化计算与虚拟实现四川省重点实验室,四川师范大学,成都,610068
  • 2. 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,电子科技大学,成都,610054
  • 折叠

摘要

关键词

α-Al2O3(0001)表面/扩散/吸附生长/从头计算分子动力学

分类

数理科学

引用本文复制引用

杨春,冯玉芳,余毅..动力学研究AlN/α-Al2O3(0001)薄膜生长初期的吸附与扩散[J].物理学报,2009,58(5):3553-3559,7.

基金项目

国家国防"973"基金(批准号:61363),四川省青年科技基金(批准号:07ZQ026-021)资助的课题. （批准号:61363）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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