无机材料学报2008，Vol.23Issue(2)：357-360,4.
非晶Er2O3高k栅介质薄膜的制备及结构特性研究
Structural Characteristics of Amorphous Er2O3 Films Grown on Si (001) by Reactive Evaporation
摘要
关键词
高k栅介质/Er2O3薄膜/反应蒸发分类
数理科学引用本文复制引用
方泽波,谭永胜,朱燕艳,陈圣,蒋最敏..非晶Er2O3高k栅介质薄膜的制备及结构特性研究[J].无机材料学报,2008,23(2):357-360,4.基金项目
国家重点基础研究专项基金(G2001CB3095,10321003,60425411) （G2001CB3095,10321003,60425411）
绍兴市科技基金(2007A21015) （2007A21015）
