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脉冲激光沉积制备类金刚石薄膜的结构和光学性质

刘毅 林晓东 张磊 张麟 陈弟虎

材料科学与工程学报2008，Vol.26Issue(3)：357-360,4.
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材料科学与工程学报2008，Vol.26Issue(3)：357-360,4.

脉冲激光沉积制备类金刚石薄膜的结构和光学性质

Structures and Optical Properties of DLC films Deposited by Pulsed Laser Deposition

刘毅 1林晓东 1张磊 1张麟 2陈弟虎2

作者信息

  • 1. 深圳大学物理科学与技术学院,广东深圳,518060
  • 2. 中山大学理工学院,广东广州,510275
  • 折叠

摘要

关键词

类金刚石薄膜/脉冲激光沉积/结构/光学性质

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

刘毅,林晓东,张磊,张麟,陈弟虎..脉冲激光沉积制备类金刚石薄膜的结构和光学性质[J].材料科学与工程学报,2008,26(3):357-360,4.

基金项目

深圳大学科研启动基金资助项目(200533)和国家自然科学基金资助项目(NSFC30370410) （200533）

材料科学与工程学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1673-2812

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