物理学报2006，Vol.55Issue(7)：3581-3584,4.
离子束增强沉积制备p型氧化锌薄膜及其机理研究
Preparation and mechanism of p-type ZnO films formed by modified ion beam enhanced deposition method
袁宁一 1李金华 1范利宁 1王秀琴 1谢建生1
作者信息
- 1. 江苏工业学院功能材料实验室,常州,213016
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摘要
关键词
氧化锌薄膜/p型掺杂/离子束增强沉积分类
数理科学引用本文复制引用
袁宁一,李金华,范利宁,王秀琴,谢建生..离子束增强沉积制备p型氧化锌薄膜及其机理研究[J].物理学报,2006,55(7):3581-3584,4.
