|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|半导体学报|磁存储器驱动电路界面平坦化研究

磁存储器驱动电路界面平坦化研究

杜寰 赵玉印 韩郑生 夏洋 张志纯

半导体学报2006，Vol.27Issue(z1)：358-360,3.
✕
半导体学报2006，Vol.27Issue(z1)：358-360,3.

磁存储器驱动电路界面平坦化研究

Investigation on Interface Planarization of Driver IC for Storage Cells of MRAM

杜寰 1赵玉印 2韩郑生 1夏洋 1张志纯1

作者信息

  • 1. 中国科学院微电子研究所,北京,100029
  • 2. 湘潭大学职业技术学院,机电与电子工程系,湘潭,411105
  • 折叠

摘要

关键词

磁存储器/平坦化/表面粗糙度/均方根值

分类

数理科学

引用本文复制引用

杜寰,赵玉印,韩郑生,夏洋,张志纯..磁存储器驱动电路界面平坦化研究[J].半导体学报,2006,27(z1):358-360,3.

基金项目

国家重点基础研究发展计划资助项目(批准号:001CB610601) （批准号:001CB610601）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

访问量1
|
下载量0
段落导航相关论文