半导体学报2006，Vol.27Issue(2)：358-362,5.
CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器
Research on CMOS Compatible Integrated Humidity Sensors
摘要
关键词
开关电容电路/聚酰亚胺/CMOS兼容工艺/湿度传感器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
彭韶华,黄庆安,秦明,张中平..CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器[J].半导体学报,2006,27(2):358-362,5.基金项目
国家高技术研究发展计划(批准号:2004AA404030),国家自然科学基金(批准号:60476019)和江苏省自然科学基金(批准号:BK2003052)资助项目 （批准号:2004AA404030）
