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同步辐射X线光刻

陈梦真

物理学进展Issue(3)：359,1.
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物理学进展Issue(3)：359,1.

同步辐射X线光刻

陈梦真1

作者信息

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摘要

关键词

同步辐射/X射线源/光刻技术

分类

数理科学

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陈梦真..同步辐射X线光刻[J].物理学进展,1992,(3):359,1.

物理学进展

OA北大核心

1000-0542

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