人工晶体学报2003，Vol.32Issue(4)：361-365,5.
以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法
Preparation of Polycrystalline Silicon Thin Films on Cheap Silicon Sheets from Powder Substrate by PECVD and Introducing Aluminum Twice
邱春文 1石旺舟 2王晓晶 3周燕1
作者信息
- 1. 汕头大学物理系,汕头,515063
- 2. 华东师范大学物理系,上海,200000
- 3. 中国科学院广州能源研究所太阳能利用实验室,广州,510070
- 折叠
摘要
关键词
多晶硅带衬底/多晶硅薄膜/等离子体化学气相沉积法/二次引铝/低温制备分类
数理科学引用本文复制引用
邱春文,石旺舟,王晓晶,周燕..以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法[J].人工晶体学报,2003,32(4):361-365,5.
