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Si/SiNx/SiO2 多层膜的光致发光

陈青云 段满益 周海平 董成军 魏屹 纪红萱 黄劲松 陈卫东 徐明

发光学报2008,Vol.29Issue(2):363-370,8.
发光学报2008,Vol.29Issue(2):363-370,8.

Si/SiNx/SiO2 多层膜的光致发光

Photoluminescence of Si/SiNx/SiO2 Multilayers

陈青云 1段满益 1周海平 1董成军 1魏屹 1纪红萱 1黄劲松 1陈卫东 1徐明1

作者信息

  • 1. 四川师范大学物理与电子工程学院,固体物理研究所低维结构物理实验室,四川,成都,610068
  • 折叠

摘要

关键词

Si/SiNx/SiO2多层膜/红外吸收/光致发光

分类

数理科学

引用本文复制引用

陈青云,段满益,周海平,董成军,魏屹,纪红萱,黄劲松,陈卫东,徐明..Si/SiNx/SiO2 多层膜的光致发光[J].发光学报,2008,29(2):363-370,8.

基金项目

四川省青年科技基金(08JJ0025) (08JJ0025)

教育部留学回国人员科研启动基金(教外司留[2007]1108) (教外司留[2007]1108)

四川师范大学学生科研创新基金资助项目 ()

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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