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氧化钒薄膜在玻璃基片上的生长研究

魏雄邦 吴志明 王涛 蒋亚东

无机材料学报2008,Vol.23Issue(2):364-368,5.
无机材料学报2008,Vol.23Issue(2):364-368,5.

氧化钒薄膜在玻璃基片上的生长研究

Growth of Vanadium Oxide Thin Films on Glass Substrate

魏雄邦 1吴志明 1王涛 1蒋亚东1

作者信息

  • 1. 电子科技大学,光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054
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摘要

关键词

氧化钒薄膜/玻璃/厚度/直流磁控溅射

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

魏雄邦,吴志明,王涛,蒋亚东..氧化钒薄膜在玻璃基片上的生长研究[J].无机材料学报,2008,23(2):364-368,5.

基金项目

教育部新世纪优秀人才支持计划资助(NCET-04-0896) (NCET-04-0896)

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

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