作者：白宗武;张秋红;黄小力
作者单位：
分类：电子信息工程
中文关键词：聚酰亚胺光刻胶光刻工艺亚胺化耐热性
刊名：《感光科学与光化学》 1995 (4)
页码/页数：366,1
基金：国家重点实验室项目资助
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