四川大学学报（自然科学版）2008，Vol.45Issue(2)：367-370,4.
Ar等离子体清洗Cu箔靶的实验研究
The study of cu foil target cleaning by Ar plasma
陆晓曼 1吴卫东 2孙卫国 2张继成 1郭强 2唐永建3
作者信息
- 1. 四川大学原子与分子物理研究所,成都,610065
- 2. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳,621900
- 3. 四川大学物理科学与技术学院,成都,610064
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摘要
关键词
表面处理/Ar等离子体清洗/接触角/去油污分类
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陆晓曼,吴卫东,孙卫国,张继成,郭强,唐永建..Ar等离子体清洗Cu箔靶的实验研究[J].四川大学学报（自然科学版）,2008,45(2):367-370,4.
