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原生直拉无位错硅单晶中漩涡缺陷的观察

钱家骏 褚一鸣 范缇文 林兰英

半导体学报Issue(4):368,1.
半导体学报Issue(4):368,1.

原生直拉无位错硅单晶中漩涡缺陷的观察

钱家骏 1褚一鸣 1范缇文 1林兰英1

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钱家骏,褚一鸣,范缇文,林兰英..原生直拉无位错硅单晶中漩涡缺陷的观察[J].半导体学报,1984,(4):368,1.

半导体学报

1674-4926

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