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红外技术在硅基半导体材料微体缺陷测试中的应用

尤政

红外技术Issue(3)：37,1.
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红外技术Issue(3)：37,1.

红外技术在硅基半导体材料微体缺陷测试中的应用

尤政1

作者信息

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摘要

关键词

Mie氏散射/红外无损检测/体缺陷/硅

分类

信息技术与安全科学

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尤政..红外技术在硅基半导体材料微体缺陷测试中的应用[J].红外技术,1996,(3):37,1.

红外技术

OA北大核心

1001-8891

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