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Pb(Zr，Ti)O3铁电场效应晶体管的制备及性能研究

于军 周文利 赵建洪 谢基凡 黄歆

半导体学报Issue(5)：371,1.
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半导体学报Issue(5)：371,1.

Pb(Zr，Ti)O3铁电场效应晶体管的制备及性能研究

于军 1周文利 1赵建洪 2谢基凡 2黄歆2

作者信息

  • 1. 华中理工大学固体电子学系
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摘要

关键词

铁电薄膜/场效应晶体管/FET

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

于军,周文利,赵建洪,谢基凡,黄歆..Pb(Zr，Ti)O3铁电场效应晶体管的制备及性能研究[J].半导体学报,1997,(5):371,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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