物理学报2004，Vol.53Issue(11)：3710-3715,6.
6H-SiC pn结紫外光探测器的模拟与分析
Simulation and analysis of 6H-SiC pn junction ultraviolet photodetector
周拥华 1张义门 1张玉明 1孟祥志1
作者信息
- 1. 西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071
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摘要
关键词
6H-SiC,紫外光探测,吸收系数,光响应灵敏度分类
数理科学引用本文复制引用
周拥华,张义门,张玉明,孟祥志..6H-SiC pn结紫外光探测器的模拟与分析[J].物理学报,2004,53(11):3710-3715,6.
