原子能科学技术2002，Vol.36Issue(4)：371-373,3.
用于等电子谱线法诊断电子温度的Mg/Si混合膜制备工艺研究
Fabrication of the Mg/Si Alloy Films for Determination of Electron Temperature of Plasmas by Isoelectronic Line Ratios
许华 1吴卫东 1陈志梅 1唐晓虹 1黄勇 1唐永建1
作者信息
- 1. 中国工程物理研究院,高温高密度等离子体物理国家重点实验室,四川,绵阳,621900
- 折叠
摘要
关键词
电子温度/磁控溅射/复合靶/镁硅混合膜分类
数理科学引用本文复制引用
许华,吴卫东,陈志梅,唐晓虹,黄勇,唐永建..用于等电子谱线法诊断电子温度的Mg/Si混合膜制备工艺研究[J].原子能科学技术,2002,36(4):371-373,3.
