强激光与粒子束2007，Vol.19Issue(3)：373-376,4.
光学元件亚表面缺陷结构的蚀刻消除
Eliminating of subsurface damage structure
摘要
关键词
化学刻蚀/Marangoni界面效应/亚表面缺陷/抛光分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
项震,聂传继,葛剑虹,侯晶,许乔..光学元件亚表面缺陷结构的蚀刻消除[J].强激光与粒子束,2007,19(3):373-376,4.基金项目
国家自然科学基金委-中国工程物理研究院联合基金资助课题(10476025) （10476025）
