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梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响

董林玺 车录锋 王跃林

半导体学报2005，Vol.26Issue(2)：373-378,6.
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半导体学报2005，Vol.26Issue(2)：373-378,6.

梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响

Effect of Non-Parallel Combs of Capacitive Micro-Sensor on Reliable Operation Range

董林玺 1车录锋 2王跃林2

作者信息

  • 1. 浙江大学信息学院信电系,杭州,310027
  • 2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
  • 折叠

摘要

关键词

电容式传感器/惯性传感器/可靠工作范围/脉冲信号

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

董林玺,车录锋,王跃林..梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响[J].半导体学报,2005,26(2):373-378,6.

基金项目

国家重点基础研究发展计划资助项目(批准号:G1999033101) （批准号:G1999033101）

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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