表面技术2006，Vol.35Issue(4)：37-39,3.
脉冲电弧沉积类金刚石薄膜特性的研究
Research on the Properties of Diamond-like Carbon Film by Pulsed Arc Deposition
摘要
关键词
类金刚石薄膜/脉冲电弧/光学特性/机械特性分类
数理科学引用本文复制引用
刘缠牢,梁海锋,严一心..脉冲电弧沉积类金刚石薄膜特性的研究[J].表面技术,2006,35(4):37-39,3.基金项目
陕西省教育厅专项科研计划项目资助(02JK14) （02JK14）
