中国机械工程2003,Vol.14Issue(5):374-376,3.
基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造
Design and Fabrication of Micro 3K-2 Type Planetary Gear Reducer Utilizing"LIGA" Technology
张卫平 1陈文元 1陈迪 1吴校生 1陈晓梅 1徐正福1
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摘要
关键词
3K-2型微行星齿轮减速器/微齿轮/LIGA/电磁型微马达分类
机械制造引用本文复制引用
张卫平,陈文元,陈迪,吴校生,陈晓梅,徐正福..基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造[J].中国机械工程,2003,14(5):374-376,3.