光学精密工程2003，Vol.11Issue(1)：37-44,8.
微机电系统测试技术及方法
MEMS measurement technologies and methods
李智 1王向军1
作者信息
- 1. 天津大学,精密仪器与光电子工程学院,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
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摘要
关键词
微机电系统/MEMS检测技术/光电检测/计算机视觉检测分类
机械制造引用本文复制引用
李智,王向军..微机电系统测试技术及方法[J].光学精密工程,2003,11(1):37-44,8.
