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半导体学报
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硅十字梁单块力传感器
硅十字梁单块力传感器
王言
王毕南
晋琦
鲍敏杭
半导体学报
Issue(5)：375,1.
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半导体学报
Issue(5)
：375,1.
硅十字梁单块力传感器
王言
1
王毕南
1
晋琦
1
鲍敏杭
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硅
/
传感器
/
力传感器
分类
信息技术与安全科学
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王言,王毕南,晋琦,鲍敏杭..硅十字梁单块力传感器[J].半导体学报,1990,(5):375,1.
半导体学报
OA
CSCD
ISSN：
1674-4926
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