强激光与粒子束2005，Vol.17Issue(3)：377-380,4.
极紫外多层膜残余应力初步研究
Control of residual stress in extreme ultraviolet multilayer coatings
摘要
关键词
极紫外/多层膜/残余应力分类
数理科学引用本文复制引用
向鹏,金春水,张立超,金伟华,刘颖敏,曹健林..极紫外多层膜残余应力初步研究[J].强激光与粒子束,2005,17(3):377-380,4.基金项目
国家自然科学基金重点资助课题(69938020) （69938020）
国家863计划项目资助课题 （）
吉林省青年杰出基金项目资助课题 （）
国防科工委民口配套项目资助课题 （）
