半导体学报2002，Vol.23Issue(4)：377-381,5.
p型微氮直拉硅中氧施主的电学特性
Electrical Characteristic of Oxygen-Related Donors in p-Type Czochralski Silicon
摘要
关键词
直拉硅/氮氧复合体/热施主分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
余学功,杨德仁,马向阳,汤艳,李东升,李立本,阙端麟..p型微氮直拉硅中氧施主的电学特性[J].半导体学报,2002,23(4):377-381,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(批准号:50032010,69976025) （批准号:50032010,69976025）
