电化学2005，Vol.11Issue(4)：377-381,5.
电化学制备P型硅基二维光子晶体优化参数
Optimized Parameters for Electrochemical Fabrication of P-type Silicon-Based Two-dimensional Photonic Crystals
摘要
关键词
大孔硅/光子晶体/制备/电化学腐蚀法/参数/优化分类
化学化工引用本文复制引用
张晚云,季家榕,袁晓东,叶卫民,朱志宏..电化学制备P型硅基二维光子晶体优化参数[J].电化学,2005,11(4):377-381,5.基金项目
国家安全重大基础研究项目(51307)资助 （51307）
