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MOS晶体管中辐照引起的陷阱正电荷的强压退火

姚育娟 张正选 姜景和 何宝平 罗尹虹

半导体学报2000,Vol.21Issue(4):378-382,5.
半导体学报2000,Vol.21Issue(4):378-382,5.

MOS晶体管中辐照引起的陷阱正电荷的强压退火

Bias Annealing of Radiation Induced Positive Trapped Charges in Metal Oxide Semiconductor Transistor

姚育娟 1张正选 2姜景和 1何宝平 1罗尹虹1

作者信息

  • 1. 西北核技术研究所,西安 710024
  • 2. 西安交通大学,西安 710049
  • 折叠

摘要

关键词

偏压退火/辐照引起的陷阱正电荷/MOS晶体管

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

姚育娟,张正选,姜景和,何宝平,罗尹虹..MOS晶体管中辐照引起的陷阱正电荷的强压退火[J].半导体学报,2000,21(4):378-382,5.

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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