材料科学与工程学报2008，Vol.26Issue(3)：380-384,5.
磁控溅射TiN/Si3N4纳米复合膜的制备及其环境摩擦学特性
Preparation and Tribological Performance of the TiN/Si3N4 Composite Films Deposited by Magnetron Sputtering at Different Environments
杨友志 1郑晓华1
作者信息
- 1. 浙江大学材料科学与工程系,浙江杭州,310027
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摘要
关键词
TiN/纳米复合膜/磁控溅射/摩擦与磨损分类
矿业与冶金引用本文复制引用
杨友志,郑晓华..磁控溅射TiN/Si3N4纳米复合膜的制备及其环境摩擦学特性[J].材料科学与工程学报,2008,26(3):380-384,5.
