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蓝宝石衬底AlGaN/GaN功率HEMTs研制

邵刚 刘新宇 和致经 刘键 魏珂 陈晓娟 吴德馨

电子器件2004,Vol.27Issue(3):381-384,4.
电子器件2004,Vol.27Issue(3):381-384,4.

蓝宝石衬底AlGaN/GaN功率HEMTs研制

Development of AlGaN/GaN Power HEMTs Grown on Sapphire Substrates

邵刚 1刘新宇 1和致经 1刘键 1魏珂 1陈晓娟 1吴德馨1

作者信息

  • 1. 中国科学院微电子研究所四室,北京,100029
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摘要

关键词

AlGaN/GaN/HEMT/微波功率/单位截止频率

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

邵刚,刘新宇,和致经,刘键,魏珂,陈晓娟,吴德馨..蓝宝石衬底AlGaN/GaN功率HEMTs研制[J].电子器件,2004,27(3):381-384,4.

基金项目

国家重点基础研究发展计划资助项目(2002CB311903) (2002CB311903)

中国科学院重点创新资助项目(KGCX2-SW-107). (KGCX2-SW-107)

电子器件

OACSCD

1005-9490

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