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a-SiNxOy∶Er3+薄膜的光致发光

邓文渊 张家骅 马少杰 孔祥贵 宋宏伟 许武

半导体学报2003,Vol.24Issue(4):381-386,6.
半导体学报2003,Vol.24Issue(4):381-386,6.

a-SiNxOy∶Er3+薄膜的光致发光

Phtoluminenscence from Er3+ Ions in a-SiNyOx Films

邓文渊 1张家骅 1马少杰 1孔祥贵 1宋宏伟 1许武1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院激发态物理开放实验室,长春,130021
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摘要

关键词

Er/氮氧化硅/光致发光

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

邓文渊,张家骅,马少杰,孔祥贵,宋宏伟,许武..a-SiNxOy∶Er3+薄膜的光致发光[J].半导体学报,2003,24(4):381-386,6.

基金项目

吉林省自然科学基金资助项目(批准号:20010581) (批准号:20010581)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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