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液压与气动
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MOCVD的气动控制回路设计
MOCVD的气动控制回路设计
高爱华
刘卫国
张伟
周顺
李岗
液压与气动
Issue(9)：38-40,3.
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液压与气动
Issue(9)
：38-40,3.
MOCVD的气动控制回路设计
Design of Pneumatic Control for MOCVD
高爱华
1
刘卫国
1
张伟
1
周顺
1
李岗
1
作者信息
1.
西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032
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摘要
关键词
MOCVD
/
气动控制
/
气缸
/
可编程控制器
分类
机械制造
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高爱华,刘卫国,张伟,周顺,李岗..MOCVD的气动控制回路设计[J].液压与气动,2006,(9):38-40,3.
液压与气动
OA
北大核心
CSTPCD
ISSN：
1000-4858
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