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与CMOS兼容的硅基波导型光电探测器的研究

曾凡平 韩培德 高利朋 冉启江 毛雪 赵春华 米艳红

光通信技术2009,Vol.33Issue(5):38-40,3.
光通信技术2009,Vol.33Issue(5):38-40,3.

与CMOS兼容的硅基波导型光电探测器的研究

research in CMOS-compatible silicon-based photodetector

曾凡平 1韩培德 1高利朋 1冉启江 1毛雪 1赵春华 1米艳红1

作者信息

  • 1. 中国科学院,半导体研究所,集成光电子国家重点实验室,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

硅基光电探测器/深能级缺陷/Si/Ge自组装

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

曾凡平,韩培德,高利朋,冉启江,毛雪,赵春华,米艳红..与CMOS兼容的硅基波导型光电探测器的研究[J].光通信技术,2009,33(5):38-40,3.

基金项目

国家自然科学基金(No.60776046)资助 (No.60776046)

国家自然科学重点基金(No.O912030003)资助 (No.O912030003)

国家基础研究973(No.2006CB302802)资助. (No.2006CB302802)

光通信技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1002-5561

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