天津工业大学学报2003,Vol.22Issue(5):38-41,4.
激光微加工中运动控制系统的设计
Design of movement control system of laser micro-processing
杨雷 1姚建铨 2裴红星 1刘晓旻1
作者信息
- 1. 郑州大学,物理工程学院,郑州,450052
- 2. 天津大学,精密仪器与光电子工程学院,天津,300072
- 折叠
摘要
关键词
激光微加工/运动控制/X-Y平台/光栅尺分类
矿业与冶金引用本文复制引用
杨雷,姚建铨,裴红星,刘晓旻..激光微加工中运动控制系统的设计[J].天津工业大学学报,2003,22(5):38-41,4.