中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：384-386,3.
电容式微机械惯性传感器信号检测技术研究
Study on Signal Detection Techniques for the Capacitive Micromachined Inertial Sensors
摘要
关键词
微机电系统/电容检测/桥路设计/自相关检测/电荷放大器分类
机械制造引用本文复制引用
蒋庆华,苑伟政,常洪龙,王涛..电容式微机械惯性传感器信号检测技术研究[J].中国机械工程,2005,16(z1):384-386,3.
