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立方氮化硼薄膜制备与性质研究新进展

张兴旺 游经碧 陈诺夫

无机材料学报2007，Vol.22Issue(3)：385-390,6.
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无机材料学报2007，Vol.22Issue(3)：385-390,6.

立方氮化硼薄膜制备与性质研究新进展

Recent Advances in Synthesis and Properties of Cubic Boron Nitride Films

张兴旺 1游经碧 1陈诺夫1

作者信息

  • 1. 中国科学院,半导体研究所半导体材料重点实验室,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

立方氮化硼薄膜/异质外延/应力/粘附性

分类

数理科学

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张兴旺,游经碧,陈诺夫..立方氮化硼薄膜制备与性质研究新进展[J].无机材料学报,2007,22(3):385-390,6.

基金项目

中科院百人计划及教育部留学回国人员基金 （）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

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