人工晶体学报2003，Vol.32Issue(4)：386-392,7.
加氮对直流电弧等离子体喷射金刚石膜生长、形貌和质量的影响
Effects of Nitrogen Addition on Growth, Morphology and Quality of DC Arc Plasma Jet CVD Diamond Films
杨胶溪 1张恒大 2李成明 1陈广超 1吕反修 1唐伟忠 1佟玉梅1
作者信息
- 1. 北京科技大学,北京,100083
- 2. 山东科技大学,泰安,271019
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摘要
关键词
金刚石膜/氮气/形貌/晶体取向/成核密度分类
数理科学引用本文复制引用
杨胶溪,张恒大,李成明,陈广超,吕反修,唐伟忠,佟玉梅..加氮对直流电弧等离子体喷射金刚石膜生长、形貌和质量的影响[J].人工晶体学报,2003,32(4):386-392,7.
