测控技术2004，Vol.23Issue(z1)：387-390,393,5.
微机械薄膜热膨胀系数的测试结构
Test-Sructures of Thermal Expansion Coefficient for Micromachined Thin Films
张宇星 1黄庆安 1李伟华1
作者信息
- 1. 东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096
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摘要
关键词
热膨胀系数/薄膜/微结构/MEMS分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张宇星,黄庆安,李伟华..微机械薄膜热膨胀系数的测试结构[J].测控技术,2004,23(z1):387-390,393,5.
