光学精密工程2002，Vol.10Issue(4)：388-391,4.
微摩擦测试仪力传感器的研究
Research on force sensors in a micro-friction test rig
黎海文 1贾宏光 1吴一辉 1李锋1
作者信息
- 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
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摘要
关键词
MEMS/微摩擦测试/力传感器/结构设计分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
黎海文,贾宏光,吴一辉,李锋..微摩擦测试仪力传感器的研究[J].光学精密工程,2002,10(4):388-391,4.
