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纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究

王英 杨明来 张效岩 蔡炳初 徐东 张亚非

中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：391-393,3.
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中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：391-393,3.

纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究

Research on Preparation of Nanoparticle Monolayer Masks and Nanolithography

王英 1杨明来 2张效岩 1蔡炳初 1徐东 1张亚非1

作者信息

  • 1. 上海交通大学,微米/纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030
  • 2. 保定天河电子技术有限公司,保定,071051
  • 折叠

摘要

关键词

LB膜/纳米粒子/掩模/纳米刻蚀

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王英,杨明来,张效岩,蔡炳初,徐东,张亚非..纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究[J].中国机械工程,2005,16(z1):391-393,3.

基金项目

上海交通大学青年教师校内科研启动基金资助项目 （）

中国机械工程

OA北大核心CSCD

1004-132X

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