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纳秒脉冲激光沉积薄膜过程中的烧蚀特性研究

谭新玉 张端明 李智华 关丽 李莉

物理学报2005,Vol.54Issue(8):3915-3921,7.
物理学报2005,Vol.54Issue(8):3915-3921,7.

纳秒脉冲激光沉积薄膜过程中的烧蚀特性研究

Target ablation characteristics of thin films during nanosecond pulsed laser deposition in the ablation process

谭新玉 1张端明 2李智华 1关丽 1李莉1

作者信息

  • 1. 华中科技大学物理系,武汉,430074
  • 2. 三峡大学物理系,宜昌,443002
  • 折叠

摘要

关键词

脉冲激光烧蚀/热流方程/温度演化/有限差分法

分类

数理科学

引用本文复制引用

谭新玉,张端明,李智华,关丽,李莉..纳秒脉冲激光沉积薄膜过程中的烧蚀特性研究[J].物理学报,2005,54(8):3915-3921,7.

基金项目

激光技术国家重点实验室基金(批准号:9713D)、湖北省自然科学基金(批准号:2001ABB099)和国家自然科学基金(批准号:50272022)资助的课题. (批准号:9713D)

物理学报

OA北大核心CSCDSCI

1000-3290

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