光学精密工程2008，Vol.16Issue(3)：392-397,6.
低损耗193 nm反射膜的设计
Design of low loss 193 nm HR mirror
尚淑珍 1邵建达 2范正修2
作者信息
- 1. 华东理工大学,机械与动力工程学院,承压系统安全科学教育部重点实验室,上海,200237
- 2. 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
- 折叠
摘要
关键词
反射膜/电场强度/吸收损耗/散射损耗分类
数理科学引用本文复制引用
尚淑珍,邵建达,范正修..低损耗193 nm反射膜的设计[J].光学精密工程,2008,16(3):392-397,6.基金项目
上海市重点建设基金资助项目(No.13503) （No.13503）
