材料科学与工程2002，Vol.20Issue(3)：393-395,3.
薄膜生长初期形貌的计算机模拟与改进
Simulation and Improvement of the Appearance of the Film Growth in Early Stage
摘要
关键词
计算机模拟/初期形貌/沉积流量分类
通用工业技术引用本文复制引用
刘涌,宋晨路,韩高荣..薄膜生长初期形貌的计算机模拟与改进[J].材料科学与工程,2002,20(3):393-395,3.基金项目
国家自然科学基金资助项目(69890230 59872029)和教育部优秀青年教师基金资助项目. （69890230 59872029）
